נובה משיקה פתרון למדידת חומרים בתהליך ייצור השבבים

נובה (ת"א: נובה, נאסד"ק: NMVI), הודיעה היום על השקת Nova METRION®, פתרון מהפכני למדידת חומרים בתהליך ייצור השבבים. המערכת, המצטרפת לקו מוצרי מדידת החומרים של החברה, מיועדת לבקרת תהליכי ייצור במעבדים ושבבי זיכרון תלת מימדיים, ומאפשרת מדידה ואפיון מלא של שכבות חומר דקות על ידי שימוש בטכנולוגית SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry). המערכת כבר פועלת אצל מספר לקוחות ונובה צפויה להכיר בהכנסות ממכירתה ברבעון הרביעי של השנה.   

חשיבותה ההולכת וגוברת של הנדסת החומרים בתעשיית ייצור השבבים כאמצעי לשיפור ביצועים, מאיצה גם את הדרישה לבקרה של החומרים המתקדמים המעורבים בתהליך הייצור, ברמות דיוק ואמינות גבוהות. עד כה, שימשה טכנולוגיית SIMS לצורך אפיון פרופיל עומק של הרכב החומר של שכבות דקות אבל הייתה מוגבלת לשימוש במעבדה בלבד. מערכת ה- METRION® מביאה את טכנולוגיית ה- SIMS לקו הייצור עצמו, ומהווה התקדמות מהפכנית ביכולת לבצע בקרת תהליך מתקדמת בייצור המוני של שבבים. 

מערכת ה METRION® של נובה היא פלטפורמה חדשה לחלוטין שתוכננה מן היסוד להשתלב בסביבת הייצור החדשנית של שבבים מתקדמים. המערכת מורכבת ממקור אנרגיה חדשני וחלקים אופטיים ייחודיים שמאפשרים איסוף מידע ממספר חומרים בו זמנית, ויכולה להתמודד עם מגוון רחב של בדיקות מורכבות. התוצאה היא מידע כמותי מעמיק של הרכב שכבות החומרים בדיוק רב וברזולוציה גבוהה במיוחד. 

"זוהי התוספת החדשה ביותר לקו המוצרים המתפתח שלנו למדידת חומרים, והיא מבססת את מעמדנו כמובילי שוק בתחום", אמר איתן אופנהיים, נשיא ומנכ"ל נובה. "אנחנו מתכננים להמשיך ולהציג חידושים פורצי דרך לתחום בקרת תהליכי הייצור ולהציע ללקוחותינו את היכולת הקריטית להגדיל תפוקה ולקצר זמני הגעה לשוק בדורות הטכנולוגיה המתקדמים ביותר".

לגרף נובה לחצו כאן